Model：PE-100 SERIES PLASMA SYSTEM Chamber dimension：12H"*12W"*12D" Electrode configuration：11”*W*11”D*9”Spacing ,1 level Vacuum system:：29CFM Vacuum gauge：0-1TORR. RF Power：0-300WATTS@13.56MHZ. GAS Flow：0-50CCM O2 Temperature control(optional)：0℃ to 150℃±0.5℃ AC service：220VAC,50HZ,1PHASE,15A Process gas：15 to 30psig System environment ：85℉
